精密运动型toyo滑台的设计要求
当前,精密加工、检测或扫描等工业应用中对于微米级精度的直线运动型toyo滑台,具有很大的需求。这些工业应用要求滑台运动系统在精度稳定性、往复运动速度以及定位准确性与快速性等方面具有比较高水平。从精密加工工艺方面来看的话,精密运动型toyo滑台应该主要满足以以几点基本要求:
一是精密运动型toyo滑台必须具有三维及以上的加工能力。在三维精密运动滑台上增加电机或运动元件即可构成多轴平台系统,可以扩大此种类型精密运动滑台的适用范围。
二是精密运动型toyo滑台必须具有高刚性,高加速度。高刚性使滑台能够抵抗外界的碰撞而避免产生变形,从而能够保证滑台的精度不受到影响,而高加速度可以体现滑台的优良特性,提高所设计toyo滑台的应用价值。
三是精密运动型toyo滑台必须有较高的重复定位精度。重复定位精度是精密运动滑台的一个非常重要的精度指标,它受多种因素影响,包括系统特性、系统存在的间隙以及系统的摩擦特性等,对于加工件的质量具有重要的影响。
针对上述设计要求,东佑达公司的精密运动型toyo滑台采取了立式布局设计,即由一个直线运动模组带动工件实现Y方向的运动,X方向的运动同样通过直线运动模组实现,Z方向的直线运动模组与X方向的直线运动模组相叠加构成联动模组,Z向负载平台带动执行部件做竖直方向上的运动,由此构成精密运动型toyo滑台三个方向上的进给运动。每个直线运动模组都是由直线电机、反馈元件、直线导轨以及接近传感器等构成,从而实现精密的微进给运动。